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产品名称: 幸运飞艇平台登录激光打标机基本原理

发布日期: 2020-07-11 14:23

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简述:  激光打标机根基道理_工学_上等教诲_教诲专区。激光打标机道理 1 第一章 激光器道理 可能笃信地说:本世纪结果的伟大创造之一是激光技巧。它自一九五八 年问世以还,一经渐渐地然

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  激光打标机根基道理_工学_上等教诲_教诲专区。激光打标机道理 1 第一章 激光器道理 可能笃信地说:本世纪结果的伟大创造之一是激光技巧。它自一九五八 年问世以还,一经渐渐地然而是果断地排泄到了科研、军事、工业等各个领 域。不是吗?看看咱们的周

  激光打标机道理 1 第一章 激光器道理 可能笃信地说:本世纪结果的伟大创造之一是激光技巧。它自一九五八 年问世以还,一经渐渐地然而是果断地排泄到了科研、军事、工业等各个领 域。不是吗?看看咱们的周遭,你就可能容易地找到它运用的实例:病院中 的激光诊断及激光调养机、店铺中的条码识别器、办公室中的激光打印机、 把咱们与天下各地纠合正在一道的光纤等等,即是正在咱们的家中也有它的身影: 激光唱机、激光影碟机。 人类发清楚众种众样的激光器。诸如:气体激光器(He-Ne 激光器、CO2 激光器等)、固态晶体激光器(红宝石激光器、钕玻璃激光器等)、离子激光 器(氪离子激光器、氩离子激光器等)、染料激光器(甲酚紫激光器、萤光素 激光器等)、超辐射激光器(氮分子激光器等)以及半导体激光器(砷化镓半 导体二极管等)等等。 活着界的很众地方,险些总共的商品激光器都正在缔制业中获得越来越广 泛的运用。CO2 激光器的要紧用处即是各式工业激光加工修造,行动固态晶 体激光器的 Nd: YAG(掺钕钇铝石榴石)激光器的最大运用便是正在激光打标 范围。 1.1 激光道理 咱们知晓,物质是由原子构成的,而原子是由带正电的原子核和带负电 的核外电子构成的(睹图 1.1)。每一个电子都沿着我方特定的轨道绕原子核 高速扭转,其扭转半径断定于电子所处的能级。原子罗致能量后,电子的旋 转半径会推广,电子的能级就会升高;原子开释能量后,电子的扭转半径会 减小,电子的能级就会消浸。每个能级对应着一个特定的能量。电子所具有 的能量是不连接的,也即是说原子的能级是量子化的。原子惟有罗致了两个 能级之间差值的能量才会升高一个能级,电子正在能级之间的变化外象称为跃 迁。同样,当原子跃迁到较低能级时,会开释出两个能级之间差值的能量。 原子的最低能级为 E0,高的能级递次为 E1、E2、E3、……,高的能级称为 上能级,低的能级为下能级。处正在能级 E0 的原子称为基态原子,其它能级 称为胀励态(睹图 1.2)。 原子可能罗致光子来获取能量,当然这个光子务必具有与原子能级差相 1 激光打标机道理 2 等的能量(比方:E1-E0)原子只可罗致带有几个能量的光子。光子的能量 断定于光子自己的波长。于是,原子只可罗致几个特定波长的光子。 平常情景下,原子罗致能量后会正在上能级停息一段工夫(这有时间被称 为原子的上能级寿命),然后向大肆一个目标发射一个光子并返回基态。这一 外象称为原子的自觉发射。对这一外象,图 1.3 作了现象的形容。 图 1.1 原子的机合 图 1.2 原子的能级 若正在胀励态原子的相近,恰恰有一个光子原委,这个光子又凑巧具有原 子上下能级之差的能量,那么这个原子就有或者受到外来光子的慰勉而发出 一个光子,原子本身则正在发射后返回基态。原子的这种因受到外来慰勉而发 射的情景,称为原子的受胀励射(图 1.4)。原子受胀励射所放出的光子与外 来的慰勉光子正在能量、波长、相位等方面齐全不异。 . 2 激光打标机道理 3 . 以上是单个原子能级的转移情景。 看待豪爽原子的情景,正在每每要求下,大大都原子老是漫衍正在基态上, 其余原子老是从低能级到高能级递减漫衍。这一漫衍顺序即是每每所说的波 尔兹曼漫衍。正在图 1.5 中,纵坐标呈现原子的能级,横坐标呈现正在各能级上 原子的漫衍数目。假使咱们加热这些原子,会使处于上能级的原子数目有所 推广。但不管怎么加热这些原子,正在原子群到达新的热平均后,上能级的原 子数目老是少于下能级的原子数目。若咱们念手段强迫下能级的原子跃迁到 上能级,而同时保障上能级的原子不很速地发射而返回到下能级,就会人工 地形成粒子数反转。这时再用慰勉光子去慰勉上能级原子,使其爆发受激 图 1.5 原子正在各能级上的漫衍 发射。正在受胀励射的同时,要想法使下能级的原子延续地跃迁到上能级,以 坚持粒子数反转,使受胀励射也许延续地举行下去。受胀励射所爆发的光子 都具有不异的波长、目标及相位,于是受胀励射的光是很强的。这即是激光。 激光这个词是从英文原文“ LASER” 一词翻译过来的,它的完好的英文原文 是“ Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation” (光辐射受激 发射放大),“ LASER” 是它的缩写。纯粹地说:激光器的实际是一个光放大 器。 正在施行中,要念爆发激光,就务必满意两个要求:最初找到也许完毕粒 3 激光打标机道理 4 子数反转的做事物质,也即是激光介质;第二要修造一个谐振腔,使某一个 频率的能量源(可能是谐振腔外的,也可能是谐振腔内的)正在腔内谐振,正在 激光介质中众次往返时,有足够的机遇去慰勉(泵浦)处于粒子数反转形态 图 1.6 激光的爆发示图谋 的激光介质。惟有云云,才气爆发激光。这些受胀励射的光子又去胀励其它 原子,一个变两个、两个变四个、四个变八个、……,爆发连锁反响,光强 被雪崩似地放大。因此爆发剧烈的激光。 每每是正在激光介质的两头各安插一个反射镜来构成谐振腔,以酿成光学 反应。它的感化是将那些沿介质长轴发射的光子反射回介质中。两个反射镜 中的一个被无意作成可能透过一个很小百分比的光强(正在激光器中被称为前 镜,相应的其余一个反射镜被称为后镜),这即是激光输出(睹图 1.6)。 1.2 激光器道理 1.2.1 Nd: YAG 激光器道理 Nd: YAG 激光器是固态晶体激光器的一种,它采用 Nd: YAG 晶体棒作 激光介质。Nd: YAG 晶体是将激光介质钕(Nd)原子掺正在生晶体钇铝石榴石 (YAG)中,Nd 原子正在 YAG 中的最佳含量约为总重量的 1%。于是,Nd: YAG 晶体的全称是掺钕钇铝石榴石晶体。Nd: YAG 晶体日常被制制成棒状,这种 质料的制制是很清贫的,且代价腾贵。但因为它具有优异的光学职能、机器 职能和热学职能,于是是高功率激光器的最佳选材之一。 4 激光打标机道理 5 之于是采用氪灯行动慰勉用的泵浦源,由于它可能发出波长为 0.73μ m 和 0.8μ m 的光彩,用这一波长的光来慰勉 Nd 原子是最为有用的。 将 Nd: YAG 晶体棒与氪灯并排安插正在一个椭圆型的光学腔内,光学腔的 内皮相样式是原委尽心安排的,以便保障氪灯发出的泵浦光也许全面纠集到 Nd: YAG 晶体棒的中央轴上。由一个反射率为 100%的反射镜作后镜,前镜 的反射率为尽心安排的 90%(透过率为 10%),它们配合构成光学谐振腔, 以完毕光学谐振。 Nd(钕)原子的能量变更经过分为四步(正在图 1.7 中对这一经过有周密 图 1.7 Nd: YAG 激光器道理图 的形容),第一步:Nd 原子正在氪灯发出的波长为 0.73μ m 和 0.8μ m 泵浦光 的慰勉下,处于基态的 Nd 原子跃迁到两个上能级中的一个,原子正在这里的 上能级寿命出格短,大约惟有 10-7 秒,这里称这一能级为胀励态;第二步: 原子正在胀励态急忙地举行一次无发射的跃迁,来到另一个上能级,原子正在这 里的上能级寿命较长,大约为 10-4 秒,这一能级称为亚稳态,原子正在这里 酿成粒子数反转;第三步:当原子正在这里受激而跃迁来到下能级时,就会发 射出波长为 1.06μ m 的光子,这即是激光;第四步:原子正在这里再爆发一次 无发射的跃迁来到基态,盘算反复上述经过。 1.2.2 CO2 激光器道理 5 激光打标机道理 6 CO2 是三原子机合的线性分子,它有三种振动格式,如图 1.8 所示。第 一种叫做对称振动(如图 1.8a 所示),其对应的振动能量叫做对称振动能量, 其能级相应地称为对称振动能级。第二种叫做反驳称振动(如图 1.8b 所示), 其对应的振动能量叫做反驳称振动能量,其能级相应地被称为反驳称振动能 级。第三种叫做形变振动,又叫弯曲振动(如图 1.8c 及 c,所示),这种振动 有上下、前后两种局势,这种振动的能量叫做形变振动能量,能级被称为形 变振动能级。 图 1.8 CO2 分子的振动格式 CO2 分子有几个上能级,个中惟有一个上能级正在跃迁时可能爆发波长为 10.6μ m 的激光,咱们没关系把这一能级叫做激光能级(属于反驳称振动能级)。 因为 CO2 分子的上能级寿命长,并且 CO2 激光器的激光能级与基态靠得很 近,从而使它有高的功效、低的慰勉能量,而且很容易获取并累积豪爽的受 激分子,从而获得高功率、高功效的激光器。 修造 CO2 激光器能级间粒子数反转,把分子胀励到高能级,日常有以下 几个根基经过: ⒈电子直接慰勉:放电中具有必定动能的电子同处于基态的 CO2 分子碰撞, 把分子从基态直接胀励到激光能级。 ⒉串级跃迁:处于比激光能级更高的其它反驳称上能级也和基态能级有合联, 于是动能较高的电子和基态的 CO2 分子相碰撞时,也能把分子胀励到这些能 6 激光打标机道理 7 级上去,正在这些能级上的分子很容易跃迁到激光能级上来,这是由于它们都 是反驳称振动能级,而激光能级又是个中最低的一个。正在较高能级的分子是 不牢固的,它们老是力求向较低能级跃迁,于是正在激光能级就会累积豪爽的 粒子,这即是所谓串级跃迁。 ⒊谐振碰撞:处于更高反驳称振动能级上的分子还可能通过与基态 CO2 分子 的碰撞,把能量交给后者使其胀励到激光能级,而我方成为低一级的反驳称 振动能级分子。这一类碰撞是谐振的,爆发的几率很大,对推广激光能级的 粒子数有很大的功劳。 ⒋复合经过:正在 CO2 分子放电经过中,有部门 CO2 分子认识为 CO 和 O, 同时也存正在部门 CO 和 O 复合成 CO2 分子的经过,正在它们复适时会把正本 认识时罗致的能量放出,于是复合而成的 CO2 分子就会被这部门能量胀励到 激光能级。 以上这四种根基经过是 CO2 分子被胀励到激光能级去的四条途径。另 外,为完毕粒子数反转以便爆发受激辐射,还务必抽空下能级。 CO2 激光器按慰勉格式可分为横向慰勉激光器、气动激光器、化学慰勉 激光器、射频慰勉激光器,等等。 7 激光打标机道理 8 第二章 激光打标机的品种 日常地说,激光打标机是正在推算机的限制下,使被打标的工件与激光束 爆发受控相对运动,激光束就会正在工件皮相烧蚀出须要的符号和图案。 明白,爆发这种相对运动可能有两种格式:一种是激光束固定,工件运 动;尚有一种是工件固定,激光束运动。 看待前一种格式,日常采用两维机器数控(或推算机限制)做事台拖动 被打标工件,工件正在做事台的拖动下服从事先安排好的轨迹运动,正在固定不 动的激光束的烧蚀感化下,工件皮相就会留下永远的踪迹(睹图 2.1)。这种 打标格式咱们称之为“ 做事台式” 。采用这种格式的打标机最大的所长是: 聚焦镜头 反射镜 做事台面 Y向 驱动马达 X向 推算机 驱动马达 激光器 图 2.1 “ 做事台式” 激光打标机的道理示图谋 代价相对低廉,但受机器运动机构安排的局部打标速率慢,很难举行缜密文 字及图案的打标(若要完毕缜密打标,代价低廉的所长将不复存正在,且出格 清贫),更无法对比片举行打标。 看待后一种格式,常用的有两种设施: ⒈运用两个联动的光学反射镜,使激光束爆发偏折。激光器射出的激光束照 正在第一壁反射镜上,正在水准目标折射 90°后映照正在第二反射镜上,第二反射 镜使激光束向下反射通过聚焦透镜后正在工件皮相聚焦,该透镜与第二反射镜 是固定正在一道的。第一反射镜沿激光器的轴线运动,运动时启发第二反射镜, 第二反射镜沿反射后的激光束运动,这两个运动受推算机限制。这两个运动 的合成即是事先条件的符号图样的轨迹(睹图 2.2)。幸运飞艇平台登录这种打标格式咱们称之 8 激光打标机道理 9 为“ 画图典礼” ,由于它的做事格式相似于笔式画图仪。又因为正在打标经过中, 两个反射镜带着激光束做大限制的运动,就象激光束正在飞来飞去,于是又有 人称之为“ 飞舞光学式” 打标机。与“ 做事台式” 激光打标机比拟,它的运 动机构变得灵巧,构制加倍纯粹,但因为正在打标经过中激光光束的光程是不 断转移的,最终感化正在工件皮相的光斑质料难以一概。这种局势的激光打标 机正在不消浸激光光斑能量密度的情景下,打标限制容易做得很大,但 图 2.2 “ 画图典礼” 激光打标机道理示图谋 难以对缜密图案举行打标,打标速率较慢。 ⒉运用振镜扫描器使激光束爆发偏转及运动。由激光器射出的激光束程序投 射到第一、第二振镜扫描器上,它们离别使激光束正在平面的 X、Y 两个目标 上扫描,正在推算机的限制下,激光束经聚焦透镜聚焦后就会正在平面上扫描出 所条件的图案(睹图 2.3)。这种打标格式咱们称之为“ 振镜扫描式” ,它的 最大所长是打标速率速,打标缜密,可能惩罚百般缜密文字、图案的打标, 污点是制价较高,很难伸张打标视场。但因为它打标速率速,打标缜密,已 经成为激光打标机的主流产物。 9 激光打标机道理 10 图 2.3 “ 振镜扫描式” 激光打标机做事道理示图谋 激光打标机还可服从所选用的激光器类型来分类,诸如:CO2 激光打标 机、Nd: YAG 激光打标机等等。 YAG 系列激光打标机属于振镜扫描式 Nd: YAG 打标机,它采用的是 Nd: YAG 激光器。该类打标机日常由激光器及电源、声光 Q 开合及驱动电源、 振镜扫描器及驱动电源、光学体例、推算机限制体例、打标机专用 D/A 转换 限制器、专用水轮回制冷体例等构成;CO2 系列激光打标机属于振镜扫描式 CO2 打标机,它采用的是射频慰勉 CO2 激光器。该类打标机日常由激光器及 电源、振镜扫描器及驱动电源、光学体例、推算机限制体例、风冷却或水循 环体例等构成。 10 激光打标机道理 11 第三章 激光输出的调制 3.1 声光 Q 开合 看待采用 Nd: YAG 激光器的 JBJ 系列激光打标机来说,声光 Q 开合是 必不行少的。它是通过正在光学反应道途上瓜代地开启和阻断光道来酿成激光 脉冲的一种修造。“ Q” 是英文“ Quality” (品格)的缩写,它的道理是指光 学谐振腔中光学反应的品格。正在激光打标体例中,声光 Q 开合通常行动附庸 光学器件加到光学谐振腔内。 声光 Q 开合由对激光束透后的质料(如水晶等)制成,它的侧面粘合了 一个压电声学换能器,正在该压电声学换能器上加有射频信号,该射频信号的 频率被调制为 1~50kHz。 当没有电信号时,Nd: YAG 晶体中发出的光束可能直接通过声光 Q 开 合,被后反射镜反射后通过声光 Q 开合又回到晶体,Q 开合不起感化。当有 信号加正在声光换能器上时,换能器将爆发声波,声波感化正在水晶上而压迫水 晶,这将使水晶的折射率爆发转移,从 Nd: YAG 晶体中发出的光正在通过声光 Q 开合时将被折射而偏离后反射镜。因为用于受胀励射的光反应消散了,激 光爆发的经过也就中止了(如图 3.1 所示)。 后反射镜 图例 开合不做事时激光束的传输道途 开合做事时激光的传输道途 开合 开合 驱动器 图 3.1 声光 Q 开合做事道理示图谋 11 激光打标机道理 12 Nd 是一种异常困难的优质激光介质,它的上能级寿命相对较长,到达了 10-4 秒。当射频信号使 Q 开合捣蛋了光学谐振腔的谐振要求从而阻断激光输 出时,它的内部照旧正在罗致氪灯发出的光能而酿成粒子数反转,因为较长的 上能级寿命,受激原子不会很速回到下能级。正在没有激光输出岁月,上能级 累积了极大的能量,当射频信号一朝撤消而复兴光学反应时,将会爆发数千 瓦的激光峰值功率输出。Q 开合为正在功率较低的激光器上爆发岑岭值功率短 脉宽的激光脉冲供给了极好的设施。 YAG 系列激光打标机采用的声光 Q 开合是由熔石英制成的,采用 LiNbo3 单晶作压电声学换能器。为了升高声光 Q 开合对 Nd: YAG 激光的透过率, 正在熔石英的两个通光面皮相镀 1.06μ m 硬增透膜。 3.2 激光脉冲限制器 看待采用射频慰勉 CO2 激光器的 CO2 系列激光打标机来说,有没有激 光脉冲限制器相似都可能对工件举行打标加工。但施行声明,加有激光脉冲 限制器的激光打标机打标质料显着升高,对质料的适当才智也更好,更也许 满意激光打标加工的条件。 脉冲限制器的做事道理与声光 Q 开合齐全分别,它是用一组电脉冲信号 直接限制激光电源,从而更改激光器的输出波形。到达缩小激光束输出的辐 射目标以及大幅度推广激光输出的峰值功率的目标。 它的做事道理睹图 3.2。 激光输出 激光器 激光电源 信号爆发器 脉冲调制器 12 激光打标机道理 13 图 3.2 激光脉冲限制器做事道理 13 激光打标机道理 14 第四章 供电及冷却体例 无论是采用 Nd: YAG 激光器的 YAG 系列激光打标机,仍然采用 CO2 激光器的 CO2 系列激光打标机,供电及冷却体例都是少不了的。 Nd: YAG 激光器所用的泵浦源氪灯,CO2 激光器的激光管都须要一个稳 定、牢靠的直流电源,电源的牢固性直接影响激光输出的牢固性。Nd: YAG 激光器所用的电源还务必包罗一个能爆发高压启动脉冲的点燃电道,以引燃 氪灯。 大恒激光坐蓐的激光打标机均采用 IGBT 开合电源,因为安排合理、制 作良好,保障了电源的牢固性和牢靠性。 Nd: YAG 激光器所用的泵浦源─ ─ 大功率氪灯,正在发光经过中会爆发大 量的热;CO2 激光器正在做事时同样会爆发必定的热量(固然不如 Nd: YAG 激 光器爆发的热量众)。若不实时将这些热量去掉,不但会影响激光器的平常使 用和缩短氪灯的运用寿命,更为首要的是将会爆发炸腔或损坏 CO2 激光管的 恶性事项,使腾贵的 Nd: YAG 晶体棒及镀金腔或 CO2 激光器报废。 施加于声光 Q 开合上的射频信号,被压电晶体罗致后,一部门能量转折 成超声波,尚有一部门酿成热;尽量 Q 开合中的熔石英晶体对激光是透后的, 但还会罗致一部门光能,这些能量转折为热。这些热量会烧坏压电换能器的 电极,烧坏压电换能器,以至会烧坏熔石英晶体。 去除热量的最有用的设施是加装一套水轮回装配,靠水的轮回来带走热 量。看待 Nd: YAG 激光器,因为氪灯皮相的温度很高,务必研究不使氪灯外 面结垢;冷却水直接流过氪灯皮相,水务必有很高的透后度;氪灯的电极上 加有高压,水务必有较高的电阻率。于是务必采用去离子水。看待 CO2 激光 器,冷却水采用泛泛水就可能了。为了节流贵重的水资源,冷却水(不管是 去离子水仍然泛泛水)应当轮回运用,日常的做法是采用一套二次冷却装配, 以带走冷却水所带出的热量,日常是采用外接泛泛水源的手段。因为采用 CO2 激光器的激光打标机所爆发的热量较小,二次冷却众采用风冷却的格式。 14 激光打标机道理 15 第五章 光学体例 没有光学体例,激光打标机是无法平常做事的。针对激光打标机做事方 式的分别,光学体例也是许许众众的,当他们都包罗扩束镜(使激光器发出 的激光束直径变大并缩小激光束的发散角)、光学聚焦透镜(使感化正在工件外 面的激光光斑直径尽或者变小)和反射镜(用以更改激光束的目标)。 一个 70W 的连接激光器所发出的光能与一个 70W 的泛泛灯胆所发出的 光能是差不众的。泛泛灯胆是被安排为用来照明的,它发出的光彩是向四面 八方映照的,与灯胆分别的是激光器发出的光彩蚁合正在一个很小的限制。所 以激光的能量密度(单元面积上的能量)远深远于灯胆的能量密度,现实的 打标效率断定于工件皮相所继承的能量密度,而不是激光的功率。为了也许 很好地举行激光打标,务必进一步升高激光的能量密度。这有两个设施:一 个是升高激光器的激光输出功率,日常地说这是清贫或得不偿失的;尚有一 个设施是将激光器发出的激光束进一步变细,这须要一套光学体例。 使激光束变细是很纯粹的,只需有一个聚焦透镜将激光束聚焦到一个很 小的点。激光器发出的激光并不是理念的平行光,它有一个很小的发散角, 这一很小的发散角会影响到聚焦透镜的聚焦效率。于是正在聚焦透镜之前要有 一个扩束镜用以压低光束的发散角。扩束镜除了可能压低光束的发散角外, 还可能伸张激光输出光束的直径。咱们知晓,聚焦后光斑的巨细取决于入射 光束直径和聚焦透镜的焦距:入射光束直径越大,聚焦后光斑直径越小。入 射光束直径的增大,还可能消浸激光光道中使激光光束更改目标的反射镜上 的激光能量密度,保障了反射镜正在长工夫做事时不被激光束烧坏。 服从聚焦透镜正在光道中相看待反射镜所处的场所,可能分为前聚焦和后 聚焦两种格式。 下面咱们以振镜扫描式激光打标机为例来先容激光打标机的光学体例。 5.1 前聚焦格式 15 激光打标机道理 16 X-振镜 反射镜 Y-振镜 反射镜 激光束 激光器 扩束镜 聚焦镜 图 5.1 前聚焦格式示图谋 前聚焦格式是因聚焦透镜比反射镜更挨近激光器(处正在反射镜的前面) 而得名。聚焦透镜安设正在扩束镜和振镜扫描器之间(睹图 5.1),它的最大所长 是代价较为低廉、且可获取较大的打标限制。 这一格式的要紧污点是:光斑直径较大,这是因为前聚焦格式选用的聚 焦透镜的焦距较长,而聚焦光斑的直径与聚焦镜的焦距成正比,这是为了容 纳振镜扫描器,聚焦透镜不得不采用较大的焦距,由此导致打标的能量密度 消浸。其余,前聚焦格式只可选用泛泛聚焦透镜,这种透镜的核心场所是镜 头后方的一个圆弧面,而大都情景下工件皮相是一个平面,当光束由打标区 域的中央移至边沿时,核心将位于工件平面的上面,工件皮相上光斑直径和 能量密度将动态地爆发转移。其余,当反射镜偏转统一角度时,打标场所分 别处于视场核心和边沿时,激光光斑的场所转移是纷歧概的。以上这些不敷 都将影响最终的打标的效率。 看待采用 CO2 激光器的激光打标机,因为激光波长较长,聚焦透镜的焦 深(当工件平面正在镜头焦平眼前后转移,肉眼难以鉴识打标效率区别的最大 限制)较大,为了获得较大的打标做事限制,众采用前聚焦格式。 5.2 后聚焦格式 顾名思义,与前聚焦格式分别的是,后聚焦格式将聚焦透镜安设正在振镜 扫描器的后面(睹图 5.2)。这就避免了前聚焦格式的污点。它采用的聚焦透镜 是特意安排的 F-θ 平场透镜,不管光束怎么转移,它的核心场所永远连结正在 16 激光打标机道理 17 一个平面上,保障了正在打标区域内光斑巨细及能量密度的一概,而且当反射 X-振镜 反射镜 Y-振镜 反射镜 激光束 激光器 扩束镜 F-0透镜 图 5.2 后聚焦格式示图谋 镜偏转单元角度时,对应的焦平面上激光光斑的几何位移是处处一概的。这 些都保险了打标的质料的升高。其余,这种格式使改换聚焦透镜变得很纯粹, 可能遵循打标限制的巨细和详细条件随时改换聚焦透镜。 它的污点是代价较高,打标限制相对较小(但可能通过改换透镜来增大 打标限制)。 因为这种格式可能获取高质料的打标效率,大大都采用 Nd: YAG 激光器 的振镜扫描式激光打标机均采用这种聚焦格式。 17

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